ДИНАМИКА ИЗМЕНЕНИЯ ФРАКТАЛЬНОЙ РАЗМЕРНОСТИ РОСТОВОЙ ПОВЕРХНОСТИ |
| 1 | |
| 2001 |
| научная статья | 621.315.5.592.3 | ||
| 114-123 |
| Изучены основные закономерности в поведении фрактальной размерности поверхности при молекулярно-лучевом осаждении (МЛО), динамическое развитие топологии поверхности в зависимости от количества осажденных атомов, ее фрактальная размерность и шероховатость. Показано, что фрактальная размерность определяется термодинамическими условиями роста пленки, а первоначальный рельеф поверхности влияет на фрактальную размерность только в течение конечного интервала времени осаждения. |
 |
| 1 . Федер Е. Фракталы. М.: Мир, 1998. 262 с. 2 . Gomez-Rodriguez J.M. et al. // Vac. Sci. Technol. B. 1991, 9(2), 495. 3 . Павлов Д.А. и др. // Материалы совещания «Зондовая микроскопия - 2000» (Н. Новгород, 28 февраля - 2 марта 2000). 2000. С. 35-39. 4 . Майслер Л. и др. // Технология тонких пленок: Справочник в 2-х частях. М.: Советское радио, 1977. 662 с. 5 . Chesters S. et al. // Proc. of Institute of Environmental Sciences. 1990. Р. 316. |