ИССЛЕДОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ НАНОСТРУКТУР, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ, МЕТОДАМИ АСМ, ЭПР И ДИФРАКЦИИ ЭЛЕКТРОНОВ |
| 1 | |
| 2001 |
| научная статья | 539.21 | ||
| 124-129 |
| Исследуется модификация структуры облученного ионами инертных газов слоя кремния с глубиной при послойном травлении образцов в HF. Атомно-силовая микроскопия и электронографические исследования показали, что в глубине имплантированного слоя образуются нанокристаллические включения, в некоторых случаях организованные между собой. Селективное действие плавиковой кислоты на нарушенный ионами слой позволяет говорить о новом методе получения нанокристаллического кремния, который вследствие квантово-размерного ограничения для электронов и дырок имеет ряд новых свойств, не характерных для объемных монокристаллов. |
 |
| 1 . Бериш Р. // Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. М.: Мир, 1986. 2 . Ежевский А.А., Хохлов А.Ф., Максимов Г.А., Филатов Д.О., Лебедев М.Ю. // Вестник Нижегородского университета. Нижний Новгород: Изд. ННГУ, 2000. 3 . Guseva M.I. and Martynenko Yu.V. // Phys. Of Radiation Eff. in Crystals. 1986. 11, 645. 4 . Хохлов А.Ф., Ежевский А.А., Демидов Е.С., Павлов П.В., Зорин Е.И. // Тр. Всес. конф. «Взаимодействие атомных частиц с твердым телом». Харьков, 1976. |