В работе с помощью стандартной программы TRIM-95 моделировались субкаскады столкновений, создаваемые вблизи поверхности кремния при бомбардировке его ионами Bi+ c энергией 500 кэВ. Получены параметры среднестатистического субкаскада: его поперечные размеры и максимальная концентрация дефектов в центре каскада, а также среднее расстояние между центрами субкаскадов на случай одновременного попадания двух ионов в одну и ту же точку на поверхности. Показано, что плотность дефектов в субкаскаде существенно выше, чем по каскаду в целом и что именно перекрытие субкаскадов скорее всего ответственно за молекулярный эффект, наблюдающийся при бомбардировке кремния такими ионами. Проведенные расчеты показали, что величина молекулярного эффекта должна падать с глубиной, что подтверждает экспериментальные результаты.
|
