1 . Vyatkin A.Ф,. Starkov V.V., Tzeitlin V., Presting H. et. al. // J. Electrochem. Soc. 2002.V.149.№1. P.60-76.
2 . Старков В.В, Цейтлин В.М,. Конли И,. Престинг Х. и др. // Микросистемная техника. 2001. №7. С.35-39
3 . V. Starkov. //Materials of the 3d International Conference Puerto de la Cruz, 10-15 March, 2002. O-02.Р.6-7.
4 . Старков В.В, Старостина Е.А., Вяткин А.Ф., Горбатов Ю.Б. // Микроэлектроника. 2000.Т. 29. №5. С.333-338.
5 . Гаврилин Е Ю., Старков В.В., Вяткин А.Ф. Исследование нуклеационной стадии анодного травления кремния (в печати).
6 . Lehmann V. and Ronnebeck S. // I.Electrochem.Soc. 1999.V.146, № 8. P.2968
|
