ИССЛЕДОВАНИЕ IN-SITU ЛОКАЛЬНОГО ПЛАВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО И ИМПЛАНТИРОВАННОГО КРЕМНИЯ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ИМПУЛЬСАМИ СВЕТА РАЗЛИЧНОЙ ДЛИТЕЛЬНОСТИ |
| 1 | |
| 2003 |
| ДОКЛАДЫ НА VI ВСЕРОССИЙСКОМ СЕМИНАРЕ "ФИЗИЧЕСКИЕ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ" 15-17 октября 2002 г. |
| научная статья | |||
| 35-46 |
| Созданы оригинальные методики и проведены исследования динамики локального анизотропного плавления поверхности монокристаллического и имплантированного кремния при облучении импульсами некогерентного света с различными длительностями и плотностями мощности излучения. |
 |
| 1 . Von Almen M., Luthy W., and Affolter K.// Applied Physics Letters. 1978. V.33.P. 824. 2 . Кияк С.Г., Бончик А.Ю., Гафийчук В.В., Южанин А.Г. и др.// Изв. РАН. Сер. Физ. 1998. Т.52. №11. С. 2276-2281. 3 . Celler G.K., Robinson Mc.D., Trimble L.E., Lishner D.J.// Appl. Phys. Lett. 1983. V.43. №9. P.868. 4 . Фаттахов Я.В., Баязитов Р. М., Хайбуллин И. Б., Львова Т. Н. и др., Еремин Е.А. // Изв. РАН. Сер. Физ. 1995. Т.59. №12. С.136. 5 . Плотников А.И., Рембеза С.И., Логинов В.А.// Физика и химия обработки материалов. 1991. №2. С.122. 6 . Emel`yanov V.I.// Laser Physics. 1992. V.2, №4. P.389. 7 . Емельянов В.И., Кашкаров П.К., Чеченин Н.Г., Дитрих Т.// Физика твердого тела. 1988. T.30, вып. 8. № 2259. 8 . Вейко В.П., Имас Я.А., Либенсон М.Н., Шандыбина Г.Д. и др.// Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1985. Т.49, №6. С.1236. 1 9 . Usenko A. Y. // J. Materials Science: Materials in Electronics. 1993. V.4. P.89. 1 10 . Верходанов С.И., Герасименко Н.Н., Мясников А. М.// Поверхность. Физика, химия, механика. 1998. 5. С. 69. 1 11 . Я.В. Фаттахов, М.Ф. Галяутдинов, Т.Н. Львова, И.Б. Хайбуллин. // Квантовая электроника. 2000. Т.30. №7. С. 597. 1 12 . Я.В. Фаттахов, М.Ф. Галяутдинов, Т.Н. Львова, И.Б. Хайбуллин. // Квантовая электроника. 2000. Т.30. №7. С. 597. 1 13 . Найдич Ю.В., Перевертайло В.М., Григоренко Н.Ф.// Киев: Наукова Думка, 1983. - 100 с. 1 14 . Карпов С.Ю., Ковальчук Ю.В., Погорельский Ю.В.// ФТП. 1986. T.20, вып.11. С.194. 1 15 . Я.В. Фаттахов, М.Ф. Галяутдинов, Т.Н. Львова, И.Б. Хайбуллин. // Оптика и спектроскопия. 2000. Т.89, №1. С. 150-156. 1 |