РАСЧЕТ ЭВОЛЮЦИИ ВАКАНСИОННЫХ КЛАСТЕРОВ В КРЕМНИИ С УЧЕТОМ ДИФФУЗИИ И ВТОРИЧНЫХ ПРОЦЕССОВ |
3 | |
2008 |
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА |
научная статья | 539.8 | ||
31-39 | радиационные дефекты, эволюция вакансионных кластеров, вторичные процессы, расчет с применением метода осреднения функциональных поправок |
В настоящей работе теоретически рассмотрена эволюция точечных дефектов при ионном облучении твердых тел. Предложена приближенная аналитическая методика для ее описания с учетом диффузии и наиболее важных вторичных процессов (образование дивакансий и захват вакансий ненасыщающимися ловушками). Расчеты произведены с учетом дискретного во времени и пространстве попадания ионов на поверхность образца. На примере облучения кремния ионами неона рассчитаны зависимости концентрации дефектов от глубины при различных дозах (временах облучения) и зависимость дозы аморфизации от плотности ионного тока. |