Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

РАСЧЕТ ЭВОЛЮЦИИ ВАКАНСИОННЫХ КЛАСТЕРОВ В КРЕМНИИ С УЧЕТОМ ДИФФУЗИИ И ВТОРИЧНЫХ ПРОЦЕССОВ


Номер журнала
3
Дата выпуска
2008

Раздел
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА

Тип статьи
научная статья
Коды УДК
539.8
Страницы
31-39
Ключевые слова
радиационные дефекты, эволюция вакансионных кластеров, вторичные процессы, расчет с применением метода осреднения функциональных поправок

Авторы
Панкратов Е.Л.
Тетельбаум Д.И.

Место работы
Панкратов Е.Л.
Институт Физики Микроструктур РАН, Нижний Новгород

Тетельбаум Д.И.
Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевског


Аннотация
В настоящей работе теоретически рассмотрена эволюция точечных дефектов при ионном облучении твердых тел. Предложена приближенная аналитическая методика для ее описания с учетом диффузии и наиболее важных вторичных процессов (образование дивакансий и захват вакансий ненасыщающимися ловушками). Расчеты произведены с учетом дискретного во времени и пространстве попадания ионов на поверхность образца. На примере облучения кремния ионами неона рассчитаны зависимости концентрации дефектов от глубины при различных дозах (временах облучения) и зависимость дозы аморфизации от плотности ионного тока.

Загрузить статью