ПРИМЕНЕНИЕ НЕРАЗРУШАЮЩИХ МЕТОДОВ АНАЛИЗА СТРУКТУРЫ, ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА ОБЛУЧЕННОЙ ПОВЕРХНОСТИ И ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ ПРИ ВЫСОКОДОЗНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ (ВИИ) МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ |
| 1 | |
| 2003 |
| ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ И СОПУТСТВУЮЩИЕ ЯВЛЕНИЯ (Статьи публикуются по решению секции по ионной имплантации Совета РАН по проблеме «Физика полупроводников») |
| научная статья | |||
| 161-172 |
| В кратком обзоре проанализированы экспериментальные результаты, полученные, в основном, разрушающими методами, по эффекту дальнодействия при высокодозном (1016-1018 ион/см2) ионном облучении металлических материалов. Показано, что применение неразрушающих методов исследования элементного состава и дефектной структуры ионно-имплантированных слоев и данные наноиндентометрии дают основание для серьезных сомнений в существовании этого эффекта, заключающегося, по мнению его сторонников, в превышении на два и более порядков толщины ионно-индуцированного дефектного слоя над глубиной легированной области. Анализ литературных данных и собственные исследования авторов позволяют сделать вывод о том, что в материалах, облученных различными ионами с высокими дозами, размеры дефектной области (100-1000 нм) менее чем на порядок величины превышают пробег ионов (50-300 нм). Предложены альтернативные дальнодействию механизмы, наблюдающемуся в ряде случаев повышенному сопротивлению износу облученной поверхности даже после ее истирания до глубин, в сотни и более раз превышающих легированный слой. |
 |
| 1 . Sооd D.К, Dеаrnlеу G. // J.Vас.Sсi.tесh.1975. V.12. Р.463. 2 . Быков В.К, Здоровцева Г.П., Троян В,А., Хмелевская В.С. // Кристаллография. 1977. Т.22. С.138. 3 . Dеаrnley G. // Nucl. Instr. and Меth. In Рhys. Res. 1981. V.В 181-182. Р.899. 4 . Павлов П.В.//Вопросы атомной науки и техники. 1981. Т.З. С.95. 5 . Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. // ФТП. 1986. Т.120. №3. С.503. 6 . Гусева М.И. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1982. №4. С.27. 7 . Хмелевская В.С., Соловьев С.П., Малынкин В.Г. // Итоги науки и техники. Пучки заряженных частиц в твердом теле. М.: ВИНИТИ, 1990. Т.2. С. 152. 8 . Бородин С.Н., Крейдель Ю.Е., Месяц Г.А., Овчинников В.В. // Письма в ЖТФ. 1989. Т.15. С.87. 9 . Диденко А.Н., Лигачев А.Е., Козлов Е.В. и др. // ДАН ССР. 1987. Т.296. С.869. 10 . Диденко А.Н., Козлов Е.В., Шаркеев Ю.П. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1983. №3. С.120. 1 11 . Sharkееv Yu.Р., Didenkо А.N., Коzlоv Е.V. // Surf. Соаt. Тесh. 1994. V.65. Р.112. 1 12 . Шаркеев Ю.П., Диденко А.Н., Козлов Э.В. // Изв.вузов. Физика. 1994. Т.37. №5. С.92. 1 13 . Пивоваров А.Л. // Металлофизика и новейшие технологии. 1994. Т.37. №5. С.92. 1 14 . Плешивцев Н.В., Красиков Е.А. // Металлы. 1995. №4. С.98. 1 15 . Тюменцев А.Н., Коротаев А.Д., Панин О.В. и др. // Изв. вузов. Физика. 1996. Т.39. №9. С.65. 1 16 . Козырь И.Г, Цыганов И.А., Шаршаков И.М. // ФиХОМ. 1996. №2. С.5. 1 17 . Хмелевская В.С., Малынкин В.Г., Соловьев С.П. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т.22. №5. С.9. 1 18 . Кrеindel Yu.Е., Оvсhinnicov V.V. // Vасuum. 1991. V.1. N1/2. Р.81. 1 19 . Крейндель Ю.Е., Овчинников В.В. //ФиХОМ. 1991. №3. С. 14. 1 20 . Овчинников В.В. //Металлы. 1996. №6. С. 104. 2 |