МОДИФИКАЦИЯ ДИФЕКТНО-ПРИМЕСНОЙ ПОДСИСТЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ |
| 1 | |
| 2003 |
| ЭФФЕКТ ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ И СОПУТСТВУЮЩИЕ ЯВЛЕНИЯ (Статьи публикуются по решению секции по ионной имплантации Совета РАН по проблеме «Физика полупроводников») |
| научная статья | |||
| 183-186 |
| В работе приведены новые экспериментальные данные, которые дополняют и укрепляют представление о важности процесса миграции точечных дефектов и примесных атомов из области торможения ионов в появлении эффектов дальнодействия в относительно чистых и бездефектных кристаллах кремния и германия. |
 |
| 1 . Комаров Ф.Ф.// Физика. 1994. Т. 37. С.23 2 . Шулов В.А.// Физика. 1994. Т. 37. С.72 3 . Шаркеев Ю.П., Диденко А.Н., Козлов Э.В.// Физика.1994. Т.37. С.92. 4 . Козлов Э.В., Терешко И.В., Попова А.Н.// Физика.1994. Т.37. С. 27. 5 . Серяпин В.Г., Романов С.И., Смирнов Л.С.// ФТП. 1973. Т.7. С.183. 6 . Антонова И.В., Шаймеев С.С.// ФТП. 1995. Т.29. С.1. 7 . Титов В.В., Роль механических напряжений при легировании материалов с помощью ионных пучков, Препринт ИАЭ - 3774/11 48с, М., 1983 8 . Antonova I.V., Neustroev E.P., Popov V.P., Stas V.F et.al.// Phys.B. 1999. V.1&2. N1. P.270, 9 . Антонова И.В., Неустроев Е. П., Попов В. П., В. Ф. Стась.// Перспективные материалы. 2001. №1. С.43. 10 . Popov V.P., Antonova I.V., Neustroev E.P., Kilanov D.V. et.al.// Phys.B.2000. V.293. P.44-48,. 1 11 . Eaglesham D.// Phys.Wold. 1995. N4. P. 41. 1 |