Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУРНО-НЕОДНОРОДНОГО АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Номер журнала	1
Дата выпуска	2004

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	539.2:621.315.592
Страницы	161-166	Ключевые слова

Авторы

Нежданов А.В.Машин А.И.Ершов А.В.

Место работы

Нежданов А.В. Нижегородский государственный университет им. Н.И.Лобачевского
Машин А.И. Нижегородский государственный университет им. Н.И.Лобачевского
Ершов А.В. Нижегородский государственный университет им. Н.И.Лобачевского

Аннотация

В работе представлены результаты по совместным исследованиям морфологии поверхности и электропереноса тонких (~ 0,5 мкм) пленок аморфного кремния, полученных методом электронно-лучевого испарения. Показано, что образование структурных неоднородностей на поверхности аморфного кремния зависит от условий получения и отжига. Пленки были получены при температурах подложки 250 и 300 °С, подвергнуты отжигу в вакууме при температурах 350-700 ºС. Результаты дают корреляцию между неоднородностями и параметрами электропереноса.

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Хохлов А.Ф., Машин А.И., Хохлов Д.А. Новая аллотропная форма кремния // Письма в ЖЭТФ. 1998. Т. 67, № 9. С. 646 - 649.
2 . Машин А.И., Хохлов А.Ф. // ФТП. 1999. Т. 33, в. 8. С. 1001-1004.
3 . Машин А.И., Ершов А.В., Хохлов Д.А. // ФТП. 1998. Т. 32, в. 7. С. 879-881.
4 . Хохлов А.Ф., Машин А.И. Аллотропия кремния: Монография. Н. Новгород: Изд-во ННГУ, 2002. 222 с.
5 . Ершов А.В., Машин А.И. Температурная зависимость электропроводности аморфных полупроводников // В кн. Физика твердого тела. Лабораторный практикум / Под. ред. А.Ф. Хохлова. Т. 2. Физические свойства твердых тел. 2001. С. 313 -327.
6 . Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах: В 2 т. М.: Мир, 1982. 663 с.