ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОСТАВА И ТОЛЩИНЫ ДВУХСЛОЙНЫХ СИСТЕМ FE-NI-MO/CR РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНЫМ МЕТОДОМ |
2 | |
2009 |
научная статья | 543.42 | ||
89-95 | рентгенофлуоресцентный метод, тонкая двухслойная пленка, состав и толщина, пленки, эффекты взаимного влияния элементов |
Разработана методика рентгенофлуоресцентного определения компонентного состава и толщины
двухслойных пленок Fe-Ni-Mo/Cr, нанесенных на поликор. Рассчитаны поправочные коэффициенты,
учитывающие эффекты взаимного влияния элементов в данной системе. Экспериментально определе-
на плотность материалов, входящих в состав пленок. Установлены и приведены метрологические ха-
рактеристики разработанной методики. |
1 . Беляева Е.Е., Ершов А.В., Машин Н.И. и др.
Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ систем Fe-Ni-Mo // Журн. аналит. химии. 1998. Т. 53.
? 6. С. 638-640 2 . Рудневский Н.К., Машин Н.И., Калинин Ю.С. Рентгенофлуоресцентный анализ пленок кремний-германий // Заводск. лаборатория. 1985. Т. 51. ? 12. C. 28-30. 3 . Рудневский Н.К., Машин Н.И. Рентгенофлуоресцентное определение тонких двухслойных медно- никелевых пленок на ситановой подложке с использованием однокомпонентных эталонов // Заводск. лаборатория. 1984. Т. 50. ? 9. C. 22-24. 4 . Машин Н.И., Рудневский Н.К., Калинин Ю.С., Машин А.И. Рентгеноспектральное определение толщины двухслойных кремний-германиевых и германий-кремниевых покрытий на поликоре // Заводск. лаборатория. 1990. Т. 56. ? 12. C. 34-36. 5 . Машин Н.И., Туманова А.Н., Рудневский Н.К. Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ системы Co/Ni-Cr // Журн. аналит. химии. 2001. Т. 56. ? 6. С. 651-654. 6 . Машин Н.И., Ершов А.В., Машин А.И., Туманова А.Н. Определение состава и толщины пленок Co/Ni-Cr рентгенофлуоресцентным методом // Журн. прикл. спектр. 2000. Т. 67. ? 6. С. 689-691. 7 . Лосев Н.Ф., Смагунова А.Н. Основы рентгеноспектрального флуоресцентного анализа. М.: Химия, 1982. 208 с. 8 . Блохин М.А., Швейцер И.Г. Рентгеноспектральный справочник. М.: Наука, 1982. 376 с. 9 . Рентгенофлуоресцентный анализ: Применение в заводских лабораториях / Под ред. Х. Эрхардта. М.: Металлургия, 1985. 254 с. |