Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

РЕЗУЛЬТАТЫ ЗАМЕНЫ РАДИАЦИОННО-СПЛАВНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОДИОДОВ ИЗ INSB НА ПЛАНАРНУЮ ИМПЛАНТАЦИОННУЮ


Номер журнала
5
Дата выпуска
2009

Тип статьи
научная статья
Коды УДК
621.383.4:546
Страницы
48-54
Ключевые слова
антимонид индия, имплантация, спектр плотности мощности шума, радиационно-сплавная технология

Авторы
Астахов В.П.
Гиндин П.Д.
Гуляев А.М.
Зиновьев В.Г.
Карпов В.В.
Максимов А.Д.
Мирошникова И.Н.

Место работы
Астахов В.П.
ОАО «Московский завод «Сапфир»

Гиндин П.Д.
ОАО «Московский завод «Сапфир»

Гуляев А.М.
Московский энергетический институт (ТУ)

Зиновьев В.Г.
Московская госакадемия тонкой химической технологии (ТУ) им. М.В. Ломоносова

Карпов В.В.
ОАО «Московский завод «Сапфир»

Максимов А.Д.
Московская госакадемия тонкой химической технологии (ТУ) им. М.В. Ломоносова

Мирошникова И.Н.
Московский энергетический институт (ТУ)


Аннотация
Изготовлены по планарной имплантационной технологии фотодиоды (ФД) с «большими» круговыми и кольцевыми площадками, имеющими единый центр, и исследованы их фотоэлектрические характеристики. Параллельно с планарными ФД исследовались характеристики ФД, изготовленных по радиационно-сплавной технологии. Фотоэлектрические параметры измерялись по методикам ГОСТ 17772-88. На типичных ФД обоих типов измерялись также вольт-амперные характеристики и спектральные плотности мощности шума. Установлено, что замена радиационно-сплавной технологии изготовления фотодиодов на планарную имплантационную позволила улучшить в 2-2.5 раза пороговые параметры ФД.

Загрузить статью

Библиографический список
1 . Астахов В.П., Варганов С.В., Демидова Л.В. и др. Способ изготовления планарных фотодиодов на антимониде индия. Патент РФ № 1589963
2 . Астахов В.П., Дудкин В.Ф., Кернер Б.С. и др. Механизмы взрывного шума p-n-переходов // Микроэлектроника. 1989. Вып. 5. С. 455-463
3 . Астахов В.П., Гиндин Д.А., Карпов В.В. О влиянии дополнительного планарного короткозамкнутого p-n-перехода, расположенного вблизи основного // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24, № 6. С. 72- 76
4 . Хадсон Р. Инфракрасные системы: Пер. с англ./ Под ред. Н.В. Васильченко. М.: Мир, 1972. 536 с.
5 . Мирошникова И.Н. Сравнительные характеристики фотодиодов из InSb с глубокозалегающими p-n-переходами, полученными различными методами // В кн.: Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: Материалы докладов науч.-техн. семинара. М.: МНТОРЭС им. А.С. Попова, МЭИ, 2002. С. 189-198
6 . Соколик С.А., Гуляев А.М., Мирошникова И.Н. Совершенствование установки для исследования низкочастотного шума полупроводниковых приборов и структур // Измерительная техника. 1997. № 1. С. 61-65