Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ УГЛЕРОДОМ

Номер журнала	1
Дата выпуска	2010

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	537.311:322
Страницы	46-56	Ключевые слова	карбид кремния, ионная имплантация, структура, кристаллизация

Авторы

Бейсенханов Н.Б.

Место работы

Бейсенханов Н.Б. Физико-технический институт, г. Алматы, Казахстан

Аннотация

Методами Оже-электронной спектроскопии, рентгеновской дифракции, просвечивающей электронной микроскопии, инфракрасной спектроскопии и атомно-силовой микроскопии исследуются состав и структура однородных слоев SiC0.7 , полученных многократной высокодозовой имплантацией ионов углерода с энергиями 40, 20, 10, 5 и 3 кэВ. Рассматривается влияние распада углеродных и углеродно-кремниевых кластеров на формирование тетраэдрических Si-C-связей и процессы кристаллизации в слоях кремния с высокой концентрацией углерода.

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Theodossiu E., Baumann H., Polychroniadis E.K., Bethge K. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 2000. V. 161. P. 94-945.
2 . Chen D., Wong S.P., Yang S., Mо D. // Thin Solid Films. 2003. V. 426. P. 1-7.
3 . Borders J.A., Picraux S.T. and Beezhold W. // Appl. Phys. Lett. 1971. V. 18(11). Р. 509-511.
4 . Баранова Е.K., Демаков K.Д., Старинин K.В. и др. // Доклады АН СССР. 1971. Т. 200. C. 869-870.
5 . Герасименко Н.Н., Кузнецов О.Н., Лежей- ко Л.В. и др. // Микроэлектроника. 1974. Т. 3. Вып. 5. С. 467-468.
6 . Akimchenko I.P., Kisseleva K.V., Krasnopevtsev V.V. et al. // Radiation Effects. 1977. V. 33. P. 75-80.
7 . Kimura T., Kagiyama Sh. and Yugo Sh. // Thin Solid Films. 1984. V. 122. P. 165-172.
8 . Хохлов А.Ф., Павлов Д.А., Машин А.И., Морд- винова Ю.А. // Физика и техника полупроводников. 1987. Т. 21. Вып. 3. С. 531-535.
9 . Nussupov K.Kh., Sigle V.O. and Beisenkhanov N.B. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1993. V. 82. Р. 69-79.
10 . Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B. and Tokbakov J. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1995. V. 103. Р. 161-174.
11 . Calcagno L., Compagnini G., Foti G. et al. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1996. V. 120. P. 121-124.
12 . Нусупов К.Х. Автореферат дис. ... д-ра физ.- мат. наук. М.: ФИАН им. П.Н. Лебедева, 1996. 43 c.
13 . Zaytouni M., Riviere J.P., Denanot M.F. and Allain J. // Thin Solid Films. 1996. V. 287. Iss. 1-2. P. 1-7.
14 . Wong S.P., Chen Dihu, Ho L.C. et al. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1998. V. 140. P. 70-74.
15 . Brink D.J., Camassel J. and Malherbe J.B. // Thin Solid Films. 2004. V. 449 (1-2). P. 73-79.
16 . Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.В., Valitova I.V., et al. // Physics of the Solid State. 2006. V. 48 (7). P. 1255-1267.
17 . Wan Y.Z., Xiong G.Y., Song F. et al. // Surface Review and Letters. 2007. V. 14 (06). P. 1103-1106.
18 . Guo L.B., Wang Y.L., Song F., et al. // Materials Letters. 2007. V. 61 (19-20). P. 4083-4085.
19 . Sari A.H., Ghorbani S., Dorranian D., et al. // Applied Surface Science. 2008. V. 255(5). Part 1. P. 2180-2184.
20 . Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Valitova I.V., et al. // Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2008.
21 . Peierls R.E. Quantum theory of solids. Oxford: Clarendon Press, 1956. P. 54-58.
22 . Ziman J.M. Еlectrons and phonons. Oxford: Clarendon Press, 1960. 209 p.
23 . Berreman D.W. // Phys. Rev. 1963. V. 130(6). P. 2193-2198.
24 . Nussupov K.Kh., Beisenkhanov N.B., Tokbakov J. et al. // Proceedings of the 5th World Seminar on Heat Treatment and Surface Engineering. IFHT-95. Sept. 26-29, 1995. Isfahan (Iran). P. 466-472.
25 . Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 245 с.
26 . Полинг Л., Полинг П. Химия. М.: Изд-во «Мир», 1978. 683 с.
27 . Kimura T., Kagiyama Sh. and Yugo Sh. // Thin Solid Films. 1981. 81. P. 319-327.
28 . Хохлов А.Ф., Павлов Д.А., Машин А.И., Хох- лов Д.А. // Физика и техника полупроводников. 1994. Т. 28. Вып. 10. С. 175-1754.
29 . Raabe G., Miche J. // Chem. Rev. 1985. 85. P. 419.
30 . Ершов А.В., Машин А.И., Карабанова И.А. Изучение колебательных свойств аморфного кремния методом ИК-спектроскопии: Лабораторная работа по курсу «Физика аморфных и нанокристаллических полупроводников». Н. Новгород: ННГУ, 2007. 24 с.
31 . Казицына Л.А., Куплетская Н.Б. Применение УФ, ИК, ЯМР и масс-спектроскопии в органической химии. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1979. 240 с.
32 . Сильверстейн Р., Басслер Г., Моррил Т. Спектрометрическая идентификация органических соединений. М.: Мир, 1977, 590 с.