АЛГОРИТМ РАЗМЕЩЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЕ |
1 | |
2010 |
научная статья | 514.174 (621.37) | ||
190-195 | интегральная схема, кристаллы, оптимальное размещение |
Предложен итерационный алгоритм оптимального размещения кристаллов ИС на кремниевых пластинах. Определены критерии выбора оптимального решения. Представлены результаты работы алгоритма для ряда экспериментов. Проведено сравнение с одним из существующих методов решения.
Дана оценка предложенного алгоритма. |
1 . De Vries D. K. Investigation of gross die per wafer formulas // IEEE Trans. on Semiconductor Manufacturing. 2005. V. 18, No. 1. Р. 136-139. 2 . Wang L.-T., Stroud C.E., Touba N.A. System-onchip test architecture: nanometer design for testability. Morgan Kaufman Publishers, Elsiver, 2008. 856 p. 3 . Ferris-Prabhu A.V. An algebraic expression to count the number of chips on a wafer // IEEE Circuits Devices Magazine. 1989. V. 5. Р. 37-39. 4 . Chien C.-F., Hsu S., Chen C. An iterative cutting procedure for determining the optimal wafer exposure pattern // IEEE Trans. on Semiconductor Manufacturing. 1999. Vl. 12, No. 3. Р. 375-377. 5 . Imai Y. Shot map preparing method // Published patent application, 09-027445, 1997. 6 . Chien C.-F., Hsu S.-C., Deng J.-F. A cutting algorithm for optimizing the wafer exposure pattern // IEEE Trans. on Semiconductor Manufacturing. 2001. V. 14, No. 2. Р. 157-162. |