Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПРИБОРНЫХ СЛОЕВ СТРУКТУР КНИ И КНС, ПОДВЕРГНУТЫХ РАДИАЦИОННЫМ ВОЗДЕЙСТВИЯМ

Номер журнала	2
Дата выпуска	2010

Раздел

ФИЗИКА ТВЁРДОГО ТЕЛА

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	539.534.9
Страницы	40-46	Ключевые слова	радиационная стойкость, КНС-структуры, КНИ-структуры, морфология поверх- ности

Авторы

Демидов Е.С.Зубков С.Ю.Карзанов В.В.Сдобняков В.В.Филатов Д.О.Абросимова Н.ДКачемцев А.НКиселев В.К.

Место работы

Демидов Е.С. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Карзанов В.В. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Сдобняков В.В. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Филатов Д.О. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Абросимова Н.Д Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова
Качемцев А.Н Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова

Аннотация

Проведено сравнительное исследование влияния радиационного воздействия на морфологию поверхности приборных слоев структур «кремний на изоляторе» и «кремний на сапфире». До облучения морфология поверхности пленок кремния имела блочный характер с ярко выраженной мозаичностью и средней шероховатостью около 25 нм. Облучение электронами и рентгеновским излучением приводило к отчетливому сглаживанию рельефа поверхности пленки кремния в структурах КНС и КНИ, к более однородному характеру микрорельефа поверхности, т.е. радиационные воздействия позволили модифицировать морфологию поверхности кремниевых гетероструктур.

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Celle G.K., Sorin C. // J. of Appl. Phys. 2003. V. 93 № 9. P. 4955-4978.
2 . Киселев А.Н., Перевощиков В.А., Скупов В.Д. и др. // Тез. докл. на ХII Международной конференции по радиационной физике и химии неорганических материалов «РФХ-12». Томск, 2003. С. 150.
3 . Николаев Д.В., Антонова И.В., Наумова О.В. и др. // ФТП. 2003. 37. С. 443-449.
4 . Бургер Р., Донован Р. Основы технологии кремниевых ИС: Окисление, диффузия, эпитаксия. М.: Мир, 1969. 454 с.
5 . Абросимова Н.Д., Минеев М.Н., Скупов В.Д. и др. // Тез. докл. V Международной конференции и IV школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основ «Кремний-2008». Черноголовка, 1-4 июля 2008 г. М.: Издательская группа «Граница», 2008. С.165.
6 . Абросимова Н.А., Асмолова Н.Ф., Гаранин А.Г. и др. // Новые промышленные технологии. 2008. № 6. С. 60-63.