ОПРЕДЕЛЕНИЕ МАССОВОГО КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ ПРИ РЕНТГЕНОФЛУОРЕСЦЕНТНОМ АНАЛИЗЕ ДВУСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ |
| 5 | |
| 2010 |
| научная статья | 539.216.2+535.33/34+543.422.8 | ||
| 53-56 | рентгенофлуоресцентный метод, тонкая двуслойная пленка, поправочный коэффициент, массовый коэффициент поглощения, подложка, полимерная пленка |
| Предложен новый способ определения массового коэффициента поглощения в двуслойной системе
Ni/Ge/поликор при использовании простых в изготовлении унифицированных однослойных и однокомпонентных слоев, получаемых напылением никеля на подложку из полимерной пленки. Рассчитан
поправочный коэффициент, учитывающий поглощение первичного излучения рентгеновской трубки и
аналитической линии элемента нижнего слоя в верхнем слое. |
 |
| 1 . Борходоев В.Я. Влияние массовых коэффициентов ослабления на точность расчета интенсивности рентгеновской флуоресценции петрогенных элементов // Журн. аналит. химии. 1998. Т. 53, № 6. С. 571- 577. 2 . Березин А.С., Мочалкина О.Р. Технология и конструирование интегральных микросхем. М.: Радио и связь, 1983. 232 с. 3 . Беляева Е.Е., Ершов А.В., Машин Н.И. и др. Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ систем Fe-Ni-Mo // Журн. аналит. химии. 1998. Т. 53, № 6. С. 638-640. 4 . Машин Н.И., Туманова А.Н., Рудневский Н.К. Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ системы Co/Ni-Cr // Журн. аналит. химии. 2001. Т. 56, № 6. С. 651-654. 5 . Машин Н.И., Леонтьева А.А., Лебедева Р.В.,Туманова А.Н. Повышение точности рентгенофлуо-ресцентного анализа пленок Si1-xGex // Неорганические материалы. 2010. Т. 46, № 3. С. 361?364. 6 . Афонин В.П., Комяк Н.И., Николаев В.П.,Плотников Р.И. Рентгенофлуоресцентный анализ. Новосибирск: Наука, 1991. С. 128-129. 7 . Машин Н.И., Рудневский Н.К., Калинин Ю.С.,Машин А.И. Рентгеноспектральное определение толщины двухслойных кремний-германиевых и германий-кремниевых покрытий на поликоре // Заводск. лаборатория. 1990. Т. 56, № 12. С. 34-36. |