ГЛУБОКАЯ ОЧИСТКА ТЕТРАФТОРИДА УГЛЕРОДА МЕТОДОМ МЕМБРАННОГО ГАЗОРАЗДЕЛЕНИЯ |
| 5 | |
| 2010 |
| научная статья | 66.071.6+54.058 | ||
| 102-105 | тетрафторид углерода, мембрана, газоразделение, полидиметилсилоксан, поли[1- (триметилсилил)-1-пропин], глубокая очистка |
| Изучен процесс глубокой очистки тетрафторида углерода методом мембранного газоразделения на
плоских мембранах. В качестве мембран использованы мембраны на основе сополимера полидиметилсилоксана и полидифенилсилоксана, а также на основе поли[1-(триметилсилил)-1-пропина]. Измерены проницаемости индивидуальных газов: CF4, CHF3, CF3Cl, CF2ClH, CF2Cl2, CF2ClBr, C2F5Cl, HF,
SF6, C2H4, He, Ar, N2, CO2 и H2O и их смесей. Рассчитаты величины идеальной и реальной селективности. Объяснено различие этих величин. |
 |
| 1 . Мулдер М. Введение в мембранную технологию. М.: Мир., 1999. 513 с. 2 . Воротынцев В.М., Перевозчиков В.А., Скупов В.Д. Базовые технологии микро- и наноэлектроники. Нижний Новгород: НГТУ, 2006. 358 с. 3 . Волков В.В., Мчедлишвили Б.В., Ролдугин В.И., Иванычев С.С., Ярославцев А.Б. // Российские нанотехнологии. 2008. Т. 3. № 11-12. С. 67-99 4 . Патент США № 6,27,173. Способ очистки сбросных газов при производстве полупроводниковых приборов / Takayuki S. and etc.; опубл. 21.08.2001. 5 . Патент США № 5,958,138. Установка для извлечения газов / Shinji T., Shigeyoshi N.; опубл. 28.09.1999. 6 . Lin J., Lam Y.L., Chan Y.C., Zhou Y., Yao J. // Fiber and Integr. Opt. 1999. V. 18. № 2. P. 63-67. 7 . Патент США № 5,968,334. Процесс извлечения CF4 и C2F6 из отходящих газов электролизера при получении алюминия / Li Y.-E.; опубл. 19.10.1999. 8 . Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Воротынцев И.В., Балабанов С.С. // Теорет. осн. хим. технологии. 2008. Т. 42. № 4. С. 413-418. 9 . Воротынцев В.М., Кириллов Ю.П., Дроздов П.Н. // Теорет. осн. хим. технологии. 2005. Т. 39. № 4. С. 420-425. 10 . Патент РФ № 2322284. Способ разделения и/или очистки газовых смесей / Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Воротынцев И.В., Муравьев Д.В.; опубл. 20.04.2008. |