Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

ОСОБЕННОСТИ ИЗМЕНЕНИЙ ЭЛЕКТРОННЫХ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СТАБИЛИЗИРОВАННОГО ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ, ОБЛУЧЕННОГО ИОНАМИ ЗОЛОТА С НИЗКОЙ ДОЗОЙ


Номер журнала
5
Дата выпуска
2010

Тип статьи
научная статья
Коды УДК
538.958:539.534.9
Страницы
283-287
Ключевые слова
стабилизированный диоксид циркония, тонкие пленки, метод ВЧ магнетронного распыления, ионная имплантация, ионы золота, туннельная электронная микроскопия, атомная силовая микроскопия, наноразмерные металлические частицы

Авторы
Горшков Олег Николаевич
Антонов Иван Николаевич
Шенина Мария Евгеньевна
Антонов Дмитрий Александрович
Дудин Александр Юрьевич
Михайлов Алексей Николаевич
Касаткин Александр Павлович

Место работы
Горшков Олег Николаевич
Научно-исследовательский физико-технический институт ННГУ им. Н.И. Лобачевского

Антонов Иван Николаевич
Научно-исследовательский физико-технический институт ННГУ им. Н.И. Лобачевского

Шенина Мария Евгеньевна
Научно-исследовательский физико-технический институт ННГУ им. Н.И. Лобачевского

Антонов Дмитрий Александрович
Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского

Дудин Александр Юрьевич
Научно-исследовательский физико-технический институт ННГУ им. Н.И. Лобачевского

Михайлов Алексей Николаевич
Научно-исследовательский физико-технический институт ННГУ им. Н.И. Лобачевского

Касаткин Александр Павлович
Научно-исследовательский физико-технический институт ННГУ им. Н.И. Лобачевского


Аннотация
Исследованы электрофизические свойства тонких пленок стабилизированного диоксида циркония (СДЦ) толщиной 12 нм, осажденных на подложках из кремния методом ВЧ магнетронного распыления и облученных ионами Au со средней энергией 60 кэВ и дозой 2.5·10

Загрузить статью

Библиографический список
1 . Кузьминов Ю.С., Ломонова Е.Е., Осико В.В. Тугоплавкие материалы из холодного тигля. М.: Наука, 2004. 369 с.
2 . Горшков О.Н., Грачева Т.А., Касаткин А.П. и др. // Высокочистые вещества. 1995. № 2. C. 85-93.
3 . Горшков О.Н., Грачева Т.А., Касаткин А.П. и др. // Поверхность. 1997. № 1. С. 15-19.
4 . Осташев А.С., Горшков О.Н., Касаткин А.П. и др. // Известия РАН. Серия физическая. 2002. Т. 66. № 9. С. 1374-1376.
5 . Горшков О.Н., Новиков В.А., Касаткин А.П // Неорг. мат. 1999. Т. 35. № 5. С. 604-610.
6 . Gorshkov O.N., Filatov D.O., Kasatkin A.P. et al. //International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Ingineering. Proc. of SPIE / Ed by A.I. Melker. 1999. V. 3687. P. 258-263.
7 . Antonov D.A., Gorshkov O.N., Kasatkin A.P et al. // Physics of low-dimensional structures. 2004. № 1/2. P. 139.
8 . Антонов Д.А., Вугальтер Г.А., Горшков О.Н. и др. Резонансное туннелирование электронов через нанокластеры, сформированные в стабилизированном диоксиде циркония методом ионной имплантации // Вестник ННГУ. 2007. № 3. С. 55-60.
9 . Горшков О.Н., Шенина М.Е., Касаткин А.П. и др. Формирование нанокластеров золота в стабилизированном диоксиде циркония методом ионной имплантации // Вестник ННГУ. 2010. № 3.
10 . Рябчиков А.И. // Известия высших учебных заведений. Физика. 1994. Т. 37. № 6. С. 52-63.
11 . Kelly R., Lam N.Q. The sputtering of oxides. Part I: a survey of the experemental results // Radiation Effects. 1973. V. 19. P. 39-47.
12 . Sigmund P. // Phys. Rev. V. 184. № 2. P. 383-416.
13 . Лапшина М.А., Филатов Д.О., Антонов Д.А. Формирование токового изображения при исследовании металлических нанокластеров в диэлектрических пленках методом комбинированной СТМ/АСМ // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2008. № 5.
14 . Бухараев А.А., Бердунов Н.В., Овчинников Д.В. и др. // Микроэлектроника. 1997. V. 26. P. 163.
15 . Бетц Г., Венер Г.В. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности / Ред. Р. Бериш. М.: Мир, 1986. С. 24-133.
16 . Чеботин В.Н., Перфильев М.В. Электрохимия твердых электролитов. М.: Химия, 1978. 312 с.