ОСОБЕННОСТИ ИЗМЕНЕНИЙ ЭЛЕКТРОННЫХ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СТАБИЛИЗИРОВАННОГО ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ, ОБЛУЧЕННОГО ИОНАМИ ЗОЛОТА С НИЗКОЙ ДОЗОЙ |
5 | |
2010 |
научная статья | 538.958:539.534.9 | ||
283-287 | стабилизированный диоксид циркония, тонкие пленки, метод ВЧ магнетронного распыления, ионная имплантация, ионы золота, туннельная электронная микроскопия, атомная силовая микроскопия, наноразмерные металлические частицы |
Исследованы электрофизические свойства тонких пленок стабилизированного диоксида циркония (СДЦ) толщиной 12 нм, осажденных на подложках из кремния методом ВЧ магнетронного распыления и облученных ионами Au со средней энергией 60 кэВ и дозой 2.5·10 |
1 . Кузьминов Ю.С., Ломонова Е.Е., Осико В.В. Тугоплавкие материалы из холодного тигля. М.: Наука, 2004. 369 с. 2 . Горшков О.Н., Грачева Т.А., Касаткин А.П. и др. // Высокочистые вещества. 1995. № 2. C. 85-93. 3 . Горшков О.Н., Грачева Т.А., Касаткин А.П. и др. // Поверхность. 1997. № 1. С. 15-19. 4 . Осташев А.С., Горшков О.Н., Касаткин А.П. и др. // Известия РАН. Серия физическая. 2002. Т. 66. № 9. С. 1374-1376. 5 . Горшков О.Н., Новиков В.А., Касаткин А.П // Неорг. мат. 1999. Т. 35. № 5. С. 604-610. 6 . Gorshkov O.N., Filatov D.O., Kasatkin A.P. et al. //International Workshop on Nondestructive Testing and Computer Simulations in Science and Ingineering. Proc. of SPIE / Ed by A.I. Melker. 1999. V. 3687. P. 258-263. 7 . Antonov D.A., Gorshkov O.N., Kasatkin A.P et al. // Physics of low-dimensional structures. 2004. № 1/2. P. 139. 8 . Антонов Д.А., Вугальтер Г.А., Горшков О.Н. и др. Резонансное туннелирование электронов через нанокластеры, сформированные в стабилизированном диоксиде циркония методом ионной имплантации // Вестник ННГУ. 2007. № 3. С. 55-60. 9 . Горшков О.Н., Шенина М.Е., Касаткин А.П. и др. Формирование нанокластеров золота в стабилизированном диоксиде циркония методом ионной имплантации // Вестник ННГУ. 2010. № 3. 10 . Рябчиков А.И. // Известия высших учебных заведений. Физика. 1994. Т. 37. № 6. С. 52-63. 11 . Kelly R., Lam N.Q. The sputtering of oxides. Part I: a survey of the experemental results // Radiation Effects. 1973. V. 19. P. 39-47. 12 . Sigmund P. // Phys. Rev. V. 184. № 2. P. 383-416. 13 . Лапшина М.А., Филатов Д.О., Антонов Д.А. Формирование токового изображения при исследовании металлических нанокластеров в диэлектрических пленках методом комбинированной СТМ/АСМ // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2008. № 5. 14 . Бухараев А.А., Бердунов Н.В., Овчинников Д.В. и др. // Микроэлектроника. 1997. V. 26. P. 163. 15 . Бетц Г., Венер Г.В. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности / Ред. Р. Бериш. М.: Мир, 1986. С. 24-133. 16 . Чеботин В.Н., Перфильев М.В. Электрохимия твердых электролитов. М.: Химия, 1978. 312 с. |