ВЛИЯНИЕ ДЕФЕКТОВ НА МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ НА САПФИРЕ |
| 3 | |
| 2012 |
| ФИЗИКА ТВЁРДОГО ТЕЛА |
| научная статья | 539.533, 537.533.35 | ||
| 30-33 | кремний на сапфире, атомно-силовая микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия |
| Исследованы слои КНС, выращенные методом молекулярно-лучевой эпитаксии при пониженной температуре роста (600?С). Методом просвечивающей электронной микроскопии исследовано распределение дефектов по толщине слоя кремния. Продемонстрирована возможность определения качества растущих слоев КНС при помощи метода Z-модуляции АСМ. |
 |
| 1 . Twig M.E., Richmond E.D., Pellegrino J.G. Elimination of microtwins in silicon on sapphire by molecular beam epitaxy // Appl. Phys. Lett. 1989. Vol. 54. № 18. P.1766-1768. 2 . Миркин Л.И. Физические основы прочности и пластичности (Введение в теорию дислокаций). Издательство Московского университета, 1968. 538 с. 3 . Сойфер Я.М., Вердян А. Исследование локальных механических свойств монокристаллов хлористого калия методом атомно-силовой микроскопии // Физика твердого тела. 2003. Том 45. Вып. 9. С. 1621- 1625. 4 . Ham W.E., Abrahams M.S. et al. // J. Electrochem. Soc. 1977. V. 124. N 4. P. 634. 5 . Шиляев П.А., Павлов Д.А., Коротков Е.В., Треушников М.В. Молекулярно-лучевое осаждение сверхтонких слоев кремния на сапфире //Материалы электронной техники. 2008. №2. С. 62-66. 6 . Павлов Д.А., Коротков Е.В., Шиляев П.А., Кривулин Н.О. Исследование гетероэпитаксиальных слоев кремния на сапфире в режиме z-модуляции АСМ // Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. 2009. №3. С. 43-48. 7 . Павлов Д.А., Коротков Е.В., Треушников М.В. и др. Исследование упругих и фрикционных свойств субмикронных слоев кремния на сапфире // Нано- и микросистемная техника. 2009. №1. С. 32-34. 8 . Павлов Д.А., Коротков Е.В., Шиляев П.А., Кривулин Н.О. Формирование нанокристаллического кремния на сапфире методом молекулярно- лучевой эпитаксии // Письма в ЖТФ. 2010. Том 36. Вып. 12. С. 16-22. 9 . Панин А.В., Шугуров А.Р., Оскомов К.В. // Физика твердого тела. 2005. Т. 47. Вып. 11. С. 1973- 1977. |