ФОРМИРОВАНИЕ И ДИАГНОСТИКА МАГНИТНЫХ НАНОСТРУКТУР |
| 3 | |
| 2012 |
| научная статья | 541. 123: 546.21 | ||
| 42-48 | электронная литография, магнитные наноструктуры, сканирующая электронная микроскопия с анализом спиновой поляризации |
| С помощью электронно-лучевой литографии были изготовлены магнитные наноструктуры с латеральными размерами 1-10 мкм из пленок Co и Сo-Pt толщиной 10-20 нм для отработки методов диагностики магнитного состояния. Распределения намагниченности изготовленных структур изучались методами магнитно-силовой микроскопии и сканирующей электронной микроскопии с анализом спиновой поляризации вторичных электронов (SEMPA). |
 |
| 1 . Parkin S.S. et al. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. P. 5828. 2 . Weiss N. et al. // Phys. Rev. Lett. 2005. V. 95. P. 157204. 3 . Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 4 . Wang H. and Campbell C.E. // Phys. Rev. B. 2007. V. 76. P. 220407. 5 . Neubauer A. et. al. // Phys. Rev. Lett. 2009. V. 102. P. 186602. 6 . Hubert A. and Schafer R. Magnetic Domains. Berlin: Springer, 1998. 7 . Kohachi T., Koike K. // J. Appl. Phys. 2001. V. 40. P. 1264. 8 . Mironov V.L., Gribkov B.A., Vdovichev S.N. et al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 106. P. 0539111-8. 9 . Kisker E., Gudat W., and Schr?der K. // Solid State Commun. 1982. V. 44. P. 591-595. 10 . Hopster H., Raue R., Kisker E. et al. // Phys. Rev. Lett. 1983. V. 50. P. 70-73. 11 . Кесслер И. Поляризованные электроны. М.: Мир, 1988. 368 с. 12 . Petrov V.N., Grebenshikov V.V., Grachev B.D.,Kamochkin A.S. // Rev. Sci. Instrum. 2003. V. 74 (3). P. 1278. 13 . Основы аналитической электронной микроскопии / Под ред. Дж. Грена. М.: Металлургия, 1990. 14 . Vane R. US Patent 6452315. September 17. 2002. |