ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ РАЗМЕРНЫХ ЭФФЕКТОВ В ТЕХНОЛОГИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ |
| 4 | |
| 2011 |
| научная статья | 539.3 | ||
| 391-393 | размерный эффект, технология, микроэлектроника, мельчайшая твердая частица, по- верхностная энергия, диэлектрик |
| Оценка размеров мельчайшей твердой кристаллической частицы использована для обоснования нераз- рушающего метода измерения поверхностной энергии твердых диэлектриков. Теория наноразмерных эф- фектов в устройствах диэлектрической электроники дает возможность расчета концентрации напряженно- сти электрического поля вблизи вершин микровыступов на шероховатой поверхности электродов структур металл?диэлектрик?металл. Эта модель может быть полезной для выбора параметров технологии элект- роадгезионного соединения элементов интегральных микросхем. Результаты расчетов по приведенным формулам сравниваются с экспериментом. |
 |
| 1 . Богомольный В.М. Размерные эффекты образования наноструктур в композиционных материалах // Конструкции из композиционных материалов. 2008. №3. С. 58?63. 2 . Рожков В.М. Длительность стадии разрядного канала // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 1. С. 51?54. 3 . Богомольный В.М. Расчет резонансных эффектов при электротермическом разрушении структур металл?диэлектрик?металл // Измерительная техника. 2000. №6. С. 53?57. 4 . Веснин Ю.Н. Вторичная структура кристаллов. Новосибирск: Изд-во СО РАН, 1997. 105 с. 5 . Богомольный В.М. Физика прочности. М.: МГУС, 2005. 308 с. 6 . Ковчавцев А.П., Французов А.А. Пористость термического окисла кремния толщиной 30-600 Е //Микроэлектроника. 1979. Т. 8. Вып. 5. С. 439?444. |