МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ И ТЕПЛОВЫХ ЯВЛЕНИЙ В ПРОЦЕССЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ КОНВЕРСИИ SICL 4 В СВЧ-РАЗРЯДЕ |
| 3 | |
| 2013 |
| научная статья | 51.73:532.54:536.24 | ||
| 159-164 | реактор, численный эксперимент, конверсия газов, плазма, турбулентность, тетрахлорид кремния |
| Реализована методика моделирования СВЧ плазмохимического реактора с применением программного комплекса Ansys CFX, позволяющая проводить параметрические исследования и повысить информативность исследуемых процессов. Приведены результаты исследования гидродинамических и теплообменных процессов в задаче плазмохимической конверсии тетрахлорида кремния. Исследования проводились с использованием современных вычислительных технологий гидрогазодинамики, что дало возможность детализировать поля скоростей и температур, а также расходы газа в области плазмы и определить мощность, затрачиваемую на нагрев газа, температуру газа и время пребывания в реакционной зоне. |
 |
| 1 . Гусев А.В., Суханов А.Ю., Корнев Р.А. Исследование процесса конверсии тетрахлорида кремния в водородной плазме СВЧ-разрядов пониженного давления // 6 Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. 2011. C. 303–304. 2 . Бабат Г.И. Безэлектродные разряды и некоторые связанные с ними вопросы // Вести электропромышленности. 1942. № 2. C. 3–20. 3 . Франк Д.А. Плазма – четвертое состояние вещества. М.: Атомиздат, 1975. 159 с. 4 . Нигматулин Р.И. Динамика многофазных сред. Ч. 1. М.: Наука, 1987. 464 c. 5 . Русанов В.Д., Фридман А.А., Шолин Г.В. Физика химически активной плазмы. М.: Наука, 1984. 414 с. 6 . Фурман А.А. Неорганические хлориды. М.: Химия, 1980. 416 с. |