МЕХАНИКА ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ ПРИ РОСТЕ И ТЕРМООБРАБОТКЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |
| 4 | |
| 2011 |
| научная статья | |||
| 1716-1718 | моделирование, выращивание кристаллов, кремний, термообработка, микродефекты, modeling, crystal growth, silicon, thermal annealing, microdefects |
| Рассмотрена проблема дефектообразования в бездислокационных монокристаллах кремния при их росте и термообработке. Для ее решения применяется сопряженная математическая модель, позволяющая оптимизировать тепловое поле в современных индустриальных установках выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского с целью управления термонапряженным состоянием и дефектообразованием как в растущих монокристаллах кремния, так и при термообработках пластин, изготавливаемых на их основе. Разработаны и верифицированы по экспериментальным данным методы расчета рекомбинации собственных точечных дефектов и формирования микродефектов (микропор и оксидных частиц) в твердом растворе кислорода кристаллизующегося (термообрабатываемого) монокристаллического кремния. Исследование выполнено на основе интегрированной математической модели при использовании комплекса программ Crystmo/Marc. |
 |
| 1 . Простомолотов А.И. // Сложные системы и процессы. 2009. №2. С. 66-77. 2 . Prostomolotov A.I. // Phys. Stat. Sol. 2009. V. 6, No 8. P. 1874-1877. 3 . Mezhennyi M.V. et al. // Int. J. Comp. Civil and Str. Eng. 2005. V. 1, No 2. P. 61-71. 4 . Prostomolotov A.I., Verezub N.A. // Phys. Stat. Sol. 2009. V. 6, No 8. P. 1878-1881. |