НАНОРАЗМЕРНЫЕ ПЬЕЗОАКТИВНЫЕ СТРУКТУРЫ: ВОЗМОЖНОСТИ И ПЕРСПЕКТИВЫ |
| 4 | |
| 2011 |
| научная статья | 539.3 | ||
| 2213-2215 | пьезоэлектрик, сегнетоэлектрик, наноразмерная структура, пленка, подложка, феноменологический потенциал, функция Гиббса, piezoelectric, ferroelectric, nanostructures, pellicle, substrate, phenomenological potential, Gibbs function |
| Приведен обзор результатов экспериментальных и теоретических исследований эпитаксиальных наноразмерных сегнетоэлектрических пленок сложных оксидов. За счет особенностей сопряжения решетки пленки с решеткой подложки в рамках технологического процесса они приобретают уникальные свойства, отличные от свойств обычных сегнетоэлектриков. Особую роль играет зависимость механических и электрических свойств эпитаксиальных сегнетоэлектрических пленок от их толщины. Обсуждаются возможности и перспективы использования эпитаксиальных наноразмерных сегнетоэлектрических пленок сложных оксидов для изготовления сенсоров деформации, микро- и наноэлектромеханических систем (МЭМС, НЭМС) и акустоэлектронных устройств. |
 |
| 1 . Shirokov V.B., Yuzyuk Yu.I., Dkhil B., Lemanov V.V. // Phys. Rev. B. 2009. Vol. 79. P. 144118 2 . Широков В.Б. и др. // Экологический вестник научных центров ЧЭС. 2010. №4. С. 44-53 3 . Благин А.В., Калинчук В.В., Лебедев В.И. Лунин Л.С. Физика кристаллизации и дефектов твердотельных структур на микро- и наноуровнях. Ростов-на- Дону: Изд-во ЮНЦ РАН, 2009. 288 с 4 . Есипов Ю.В. и др. // Экологический вестник научных центров ЧЭС. 2010. №4. С. 18-28 |