Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРНОГО ПОЛЯ НА ДЕФОРМИРОВАНИЕ СЛОИСТОГО МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРА


Номер журнала
4
Дата выпуска
2011

Тип статьи
научная статья
Коды УДК
539.3
Страницы
2330-2332
Ключевые слова
микромеханика, связанные задачи, теория упругости, электростатика, температурные задачи, многослойность, MEMS-system, coupled problem, theory of elasticity, steady-state electricity, temperature problem, layered plate

Авторы
Максимов П.В.
Шевелев Н.А.

Место работы
Максимов П.В.
Пермский государственный технический университет

Шевелев Н.А.
Пермский государственный технический университет


Аннотация
Для связанной электротермомеханической задачи о деформировании слоистого чувствительного элемента микроакселерометра предложена математическая постановка и получено численное решение при помощи метода конечных элементов. Определено влияние электростатических сил и температурных деформаций на параметры и выходной сигнал датчика.

Загрузить статью