АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРНОГО ПОЛЯ НА ДЕФОРМИРОВАНИЕ СЛОИСТОГО МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРА |
| 4 | |
| 2011 |
| научная статья | 539.3 | ||
| 2330-2332 | микромеханика, связанные задачи, теория упругости, электростатика, температурные задачи, многослойность, MEMS-system, coupled problem, theory of elasticity, steady-state electricity, temperature problem, layered plate |
| Для связанной электротермомеханической задачи о деформировании слоистого чувствительного элемента микроакселерометра предложена математическая постановка и получено численное решение при помощи метода конечных элементов. Определено влияние электростатических сил и температурных деформаций на параметры и выходной сигнал датчика. |
 |