МОДЕЛИРОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ПОВЕДЕНИЯ НАНОСТРУКТУР, ОБРАЗУЮЩИХСЯ ПРИ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНОМ РОСТЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК |
4 | |
2011 |
научная статья | 539.3 | ||
2623-2625 | теория упругости, наноструктуры, квантовые точки, метод мультипольных разложений, elasticity, nanostructures, quantum dots, multipole expansion method |
Приводится обзор полученных автором результатов, относящихся к моделированию напряженно-деформированного состояния, возникающего внутри и вне трехмерных наноструктур, образующихся при гетероэпитаксиальном росте тонких пленок. При решении соответствующих задач рассматриваются два альтернативных подхода: метод мультипольных разложений и метод конечных элементов. |
1 . Freund L.B., Suresh S. Thin Film Materials. Stress, Defect Formation and Evolution. Cambridge: Cambridge Univ. Press, 2003. 820 p 2 . Гольдштейн Р.В., Городцов В.А., Шушпанников П.С. Моделирование напряженно-деформированного состояния в кремний-германиевых островковых гетероструктурах // Изв. РАН. Механика твердого тела. 2010. №3. С. 7-21 3 . Goldstein R.V., Shushpannikov P.S. Application of the method of multipole expansions in 3D-elasticity problem for a medium with ordered system of spherical pores // ZAMM. 2009. V. 89, No 6. P. 504-510 4 . Glas F. Elastic relaxation of truncated pyramidal quantum dots and quantum wires in a half space: An analytical calculation // J. Appl. Phys. 2001. V. 90, No 7. P. 3232-3241 5 . Гольдштейн Р.В., Городцов В.А., Шушпанников П.С. О моделировании механического поведения гетероструктур с «квантовыми точками» // Изв. вузов. Физика. 2009. №11. C. 58-66 6 . Lee C.-H. et al. SiGe quantum rings by ultra-high vacuum chemical vapor deposition // ECS Transactions. 2008. V. 16. P. 647-657 7 . Chang H.T. et al. Strain relaxation during formation of Ge nanolens stacks // Electrochem. Solid-State Lett. 2010. V. 13, No 5. P. K43-K45 |