МКЭ-МОДЕЛИРОВАНИЕ FBAR-РЕЗОНАТОРОВ |
| 1 | |
| 2014 |
| научная статья | 681.586.773:543.43 | ||
| 63-68 | акустоэлектроника, акустические волны, резонаторы, пьезокристаллы |
| Изложена методика численного расчета акустоэлектронных СВЧ тонкопленочных одночастотных резонаторов, основанная на численном 3D-решении уравнений пьезоакустики с помощью метода ко- нечных элементов (МКЭ). Получена зависимость проводимости FBAR-резонатора от частоты. Прове- дено сравнение результатов МКЭ-моделирования с результатами, полученными с помощью 1D-мо- дели, основанной на теории Новотного и Бенеша. |
 |
| 1 . Cherednick V.I., Dvoesherstov M.Y. Surface and Bulk Acoustic Waves in Multilayer Structures // Waves in Fluids and Solids. INTECH. 2011. P. 69. 2 . Двоешерстов М.Ю., Чередник В.И., Босов С.И. // Докл. на Всеросс. науч.-техн. конф. «Микроэлек- троника СВЧ». Санкт-Петербург, 2011. 3 . Ruby R., Jose S. Review and Comparison of Bulk Acoustic Wave FBAR, SMR Technology // IEEE Ultra- sonics. 2007. P. 1029. 4 . Nowotny H., Benes E. General One-Dimensional Treatment of the Layered Piezoelectric Resonator with Two Electrodes // J. Acoust. Soc. Am. 1987. V. 82. P. 513. 5 . Allik H., Hughes T. Finite Element Method for Piezoelectric Vibration // Int. J. Numer. Methods Eng. 1970. V. 2. P. 151. 6 . Makkonen T., Holappa A., Ella J., and Salomaa M.M. // IEEE Ultrasonics. 2001. V. 48. P. 1241. 7 . Мэттьюз Г. Фильтры на поверхностных аку- стических волнах. Расчет, технология и применение. М.: Радио и связь, 1981. 8 . ANSYS Inc.: ANSYS Users Guide, Theory Refer- ence Manual. Canonsburg, USA. |