Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

РАСЧЕТ ОДНОРОДНОСТИ ТОЛЩИН ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ СУБЛИМАЦИОННОГО ИСТОЧНИКА


Номер журнала
2
Дата выпуска
2014

Раздел
ФИЗИКА ТВЁРДОГО ТЕЛА

Тип статьи
научная статья
Коды УДК
538.9
Страницы
72-74
Ключевые слова
молекулярно-лучевая эпитаксия, сублимационный источник, численные методы, однородность по толщине эпитаксиальных слоев кремния

Авторы
Болдыревский П.Б.
Коровин А.Г.
Денисов С.А.
Светлов С.П.
Шенгуров В.Г.

Место работы
Болдыревский П.Б.
Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского

Коровин А.Г.
Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского

Денисов С.А.
Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского

Светлов С.П.
Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского

Шенгуров В.Г.
Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского


Аннотация
Проведены модельные расчеты распределения значений толщины эпитаксиального слоя по площади подложки для молекулярного пучка, формируемого в вакууме сублимационным источником. Полученные расчетные данные достаточно хорошо согласуются с экспериментом для молекулярно-лучевой эпитаксии кремния.

Загрузить статью

Библиографический список
1 . Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетеро-структуры / Под ред. Л. Ченга, К. Плога. М.: Мир, 1989. 580 с.
2 . Алферов Ж.И., Асеев А.Л., Гапонов С.В. и др. // Нано- и микросистемная техника. 2003. № 8. С. 3-15.
3 . Болховитянов Ю.Б., Гутаковский А.К., Дерябин А.С., Соколов Л.В. // ФТТ. 2008. Т. 50. С. 1783-1786.
4 . Денисов С.А., Шенгуров В.Г., Светлов С.П. и др. // Вестник ННГУ. 2009. № 2. С. 49-54.
5 . Шенгуров В.Г., Чалков В.Ю., Денисов С.А. и др. // Вакуумная техника и технология. 2011. Т. 21. № 1. С. 45-48.
6 . Венцель Е.С., Овчаров В.А. Теория вероятностей и ее инженерные приложения. М.: Высшая школа, 2000. 480 с.