ВЛИЯНИЕ АТМОСФЕРЫ ОТЖИГА НА ДИФФУЗИЮ КОБАЛЬТА В CVD-ZNSE |
2 | |
2014 |
научная статья | 544.034.24 | ||
96-99 | коэффициент диффузии, кобальт, CVD-ZnSe |
Исследовано влияние атмосферы отжига в процессе легирования CVD-ZnSe ионами Co |
![]() |
1 . Ильичев Н.Н., Шапкин П.В., Мосалева С.Е., Насибов А.С. // Квантовая электроника. 2004. Т. 34. № 12. С. 1169?1172. 2 . Ваксман Ю.Ф., Павлов В.В., Ницук Ю.А., Пуртов Ю.Н., Насибов А.С., Шапкин П.В. // Физика и техника полупроводников. 2006. Т. 40. № 7. С. 815?818. 3 . Ильичев Н.Н., Шапкин П.В., Насибов А.С., Мосалева С.Е. // Неорганические материалы. 2007. Т. 43. № 10. С. 1175?1178. 4 . Барсукова Е.Л., Постнова Л.И., Левченко В.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2012. № 5. С. 72?76. 5 . Triboulet R., Ndap J.O, Tromson-Carli A., Lemasson P., Morhain C., Neu G. // J. Crystal Growth. 1996. V. 159. P. 156?160. 6 . Мерер Х. Диффузия в твердых телах. Пер. с англ. Долгопрудный: Изд. дом «Интеллект», 2011. С. 48. 7 . DeLoach L.D., Page R.H., Wilke G.D., Payne S.A., Krupke W.F. // IEEE J. Quantum Electronics. 1996. V. 32. № 6. P. 885?895. 8 . Акимова И.В., Козловский В.И., Коростелин Ю.В. и др. // Труды Физ. ин-та им. П.Н. Лебедева АН СССР. 1987. Т. 177. С. 142?171. |