Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

ИЗГОТОВЛЕНИЕ И АТТЕСТАЦИЯ ПРОЕКЦИОННОГО ОБЪЕКТИВА ДЛЯ ЭУФ-ЛИТОГРАФА НА ДЛИНУ ВОЛНЫ 13.5 НМ

Номер журнала	1
Дата выпуска	2014

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	681.787
Страницы	178-184	Ключевые слова	объектив ЭУФ-литографа, асферические зеркала, интерферометрия

Авторы

Малышев И.В.Торопов М.Н.Чхало Н.И.

Место работы

Малышев И.В. Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород; Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Торопов М.Н. Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород
Чхало Н.И. Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород

Аннотация

Предлагаются модификация объектива литографа и методика аттестации асферических зеркал объектива без корректора волнового фронта.

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Волгунов Д.Г., Забродин И.Г., Закалов А.Б. и др. Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчетным разрешением 30 нм // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Том 75. № 1. С. 54-56.
2 . Зуев С.Ю., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н. и др. Двухзеркальный проекционный объектив нанолитографа на ? = 13.5 нм // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Том 75. № 1. С. 61-64.
3 . Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А. и др. Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении // Известия РАН. Серия физическая. 2012. Том 76. № 2. С. 190-195.
4 . Волгунов Д.Г., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н. и др. Формирование наноструктур на стенде ЭУФ-литографа-мультипликатора. Первые результаты // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Том 77. № 1. С. 4-8.
5 . Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Полковников В.Н. и др. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью // Российские нанотехнологии. 2008. Т. 3. № 9-10.