Главная страница
russian   english
<< назад

Название статьи

ИЗГОТОВЛЕНИЕ И АТТЕСТАЦИЯ ПРОЕКЦИОННОГО ОБЪЕКТИВА ДЛЯ ЭУФ-ЛИТОГРАФА НА ДЛИНУ ВОЛНЫ 13.5 НМ


Номер журнала
1
Дата выпуска
2014

Тип статьи
научная статья
Коды УДК
681.787
Страницы
178-184
Ключевые слова
объектив ЭУФ-литографа, асферические зеркала, интерферометрия

Авторы
Малышев И.В.
Торопов М.Н.
Чхало Н.И.

Место работы
Малышев И.В.
Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород; Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского

Торопов М.Н.
Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород

Чхало Н.И.
Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород


Аннотация
Предлагаются модификация объектива литографа и методика аттестации асферических зеркал объектива без корректора волнового фронта.

Загрузить статью

Библиографический список
1 . Волгунов Д.Г., Забродин И.Г., Закалов А.Б. и др. Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчетным разрешением 30 нм // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Том 75. № 1. С. 54-56.
2 . Зуев С.Ю., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н. и др. Двухзеркальный проекционный объектив нанолитографа на ? = 13.5 нм // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Том 75. № 1. С. 61-64.
3 . Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А. и др. Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении // Известия РАН. Серия физическая. 2012. Том 76. № 2. С. 190-195.
4 . Волгунов Д.Г., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н. и др. Формирование наноструктур на стенде ЭУФ-литографа-мультипликатора. Первые результаты // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Том 77. № 1. С. 4-8.
5 . Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Полковников В.Н. и др. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью // Российские нанотехнологии. 2008. Т. 3. № 9-10.