Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

РАСЧЕТ ОДНОРОДНОСТИ МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ГАЗОВОЙ СМЕСИ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОГО РАСТВОРА КАДМИЙ-РТУТЬ-ТЕЛЛУP MOCVD-МЕТОДОМ

Номер журнала	4
Дата выпуска	2014

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	51.73, 533.273
Страницы	402-408	Ключевые слова	многокомпонентная газовая смесь, неоднородность потока, вертикальный реактор, вычислительный эксперимент

Авторы

Шабарова Л.В.Кириллов Ю.П.Моисеев А.Н.

Место работы

Шабарова Л.В. Институт химиивысокочистых веществ РАН им. Г.Г. Девятых, Н. Новгород
Кириллов Ю.П. Институт химиивысокочистых веществ РАН им. Г.Г. Девятых, Н. Новгород
Моисеев А.Н. Институт химиивысокочистых веществ РАН им. Г.Г. Девятых, Н. Новгород

Аннотация

Приведены результаты вычислительных экспериментов по исследованию нестационарного потока многокомпонентной газовой смеси (водород, пары ртути, диметилкадмий, диэтилтеллур, диизопропилтеллур, легирующие соединения) в проточном вертикальном реакторе. Эксперименты проведены на основе трехмерной математической модели, учитывающей конвективный массо-и теплоперенос, сжимаемость, вязкость и теплопроводность компонентов, а также турбулизацию газового потока. Определена степень неоднородности газового потока вблизи подложки в зависимости от геометрии ввода компонентов и скорости подачи легирующего компонента.

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Мартюшенко А.В. Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы. Автореферат дис. … канд. физ.-мат. наук. Москва, 1995.
2 . Болдырев Ю.А, Замотин Е.П., Петухов К.Ю. Моделирование процесса роста нанопленок методом химического осаждения из газовой фазы // Вестник Южно-Уральского государственного университета. Серия вычислительная математика и информатика. 2012. № 46 (305). С. 19-30.
3 . Кондратьев А.В., Базаревский Д.С., Сегаль А.С. и др. Газодинамические эффекты при росте кристаллического нитрида галлия методом хлоридно-нитридной эпитаксии в вертикальном реакторе // Журнал технической физики. 2008. Т. 78. Вып. 7. С. 8-11.
4 . Воробьева М.В., Елютин А.В., Иванов В.В. Получение пространственно упорядоченных пироуглеродных структур водородным восстановлением тетрахлорида углерода // Российский химический журн. (Журнал Российского химического общества им. Д.И. Менделеева). 2006. Т. L. № 1. С. 71-74.
5 . Мартюшенко A.B. Оптимизация газодинамических условий осаждения в горизонтальном газофазном реакторе // Физико-технологический институт РАН, препринт № 19. Москва, 1993.
6 . Гамбург Д.Ю. Водород. Свойства, получение, хранение, транспортирование, применение. М.: Химия, 1989.
7 . Варгафтик Н.Б. Справочник по теплофизиче-ским свойствам газов и жидкостей. М.: Наука, 1972.
8 . Андерсон Д., Таннехил Дж., Плетчер Р. Вы-числительная гидромеханика и теплообмен: В 2-х т. / Пер. с англ. М.: Мир, 1990.
9 . Быстров Ю.А., Исаев С.А., Кудрявцев Н.А., Леонтьев А.И. Численное моделирование вихревой интенсификации теплообмена в пакетах труб. СПб.: Судостроение, 2005.
10 . Шабарова Л.В, Моисеев А.Н., Чилясов А.В., Степанов Б.С. Математическое моделирование газодинамических процессов в вертикальном реакторе для осаждения слоев CdHgTe // В сб.: Современная наука: исследования, идеи, результаты, технологии. 2012. Вып. 2(10). С. 16-20.
11 . Mitra P., Tyan Y.L., Case F.C., et al. Improved arsenic doping in metalorganic chemical vapor deposition of HgCdTe and in sity growth of high performance long wavelength infrared photo-diodes // J. Electr. Mater. 1996. V. 25. № 8. P. 1328-335.
12 . Martyushenko A.V. Modelirovanie teplo-massoperenosa i optimizaciya gazodinamicheskih rezhimov v reaktorah himicheskogo osazhdeniya iz gazovoj fazy. Avtoreferat dis. … kand. fiz.-mat. nauk. Moskva, 1995.
13 . Boldyrev Yu.A, Zamotin E.P., Petuhov K.Yu. Modelirovanie processa rosta nanoplenok metodom himicheskogo osazhdeniya iz gazovoj fazy // Vestnik Yuzhno-Ural'skogo gosudarstvennogo universiteta. Seriya vychislitel'naya matematika i informatika. 2012. № 46 (305). S. 19-30.
14 . Kondrat'ev A.V., Bazarevskij D.S., Segal' A.S. i dr. Gazodinamicheskie ehffekty pri roste kristallicheskogo nitrida galliya metodom hloridno-nitridnoj ehpitaksii v vertikal'nom reaktore // Zhurnal tekhnicheskoj fiziki. 2008. T. 78. Vyp. 7. S. 8-11.
15 . Vorob'eva M.V., Elyutin A.V., Ivanov V.V. Poluchenie prostranstvenno uporyadochennyh pirouglerodnyh struktur vodorodnym vosstanovleniem tetrahlorida ugleroda // Rossijskij himicheskij zhurn. (Zhurnal Rossijskogo himicheskogo obshchestva im. D.I. Mendeleeva). 2006. T. L. № 1. S. 71-74.
16 . Martyushenko A.B. Optimizaciya gazodinamicheskih uslovij osazhdeniya v gorizontal'nom gazofaznom reaktore // Fiziko-tekhnologicheskij institut RAN, preprint № 19. Moskva, 1993.
17 . Gamburg D.Yu. Vodorod. Svojstva, poluchenie, hranenie, transportirovanie, primenenie. M.: Himiya, 1989.
18 . Vargaftik N.B. Spravochnik po teplofizicheskim svojstvam gazov i zhidkostej. M.: Nauka, 1972.
19 . Anderson D., Tannekhil Dzh., Pletcher R. Vy-chislitel'naya gidromekhanika i teploobmen: V 2-h t. / Per. s angl. M.: Mir, 1990.
20 . Bystrov Yu.A., Isaev S.A., Kudryavcev N.A., Leont'ev A.I. Chislennoe modelirovanie vihrevoj intensifikacii teploobmena v paketah trub. SPb.: Sudostroenie, 2005.
21 . Shabarova L.V, Moiseev A.N., Chilyasov A.V., Stepanov B.S. Matematicheskoe modelirovanie gazodinamicheskih processov v vertikal'nom reaktore dlya osazhdeniya sloev CdHgTe // V sb.: Sovremennaya nauka: issledovaniya, idei, rezul'taty, tekhnologii. 2012. Vyp. 2(10). S. 16-20.
22 . Mitra P., Tyan Y.L., Case F.C., et al. Improved arsenic doping in metalorganic chemical vapor deposition of HgCdTe and in sity growth of high performance long wavelength infrared photo-diodes // J. Electr. Mater. 1996. V. 25. № 8. P. 1328-335.