40 ЛЕТ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ: ВЗГЛЯД В ИСТОРИЮ И ПЕРСПЕКТИВЫ |
| 2 | |
| 2001 |
| научная статья | УДК 539.1 | ||
| 5-11 |
| Кратко изложена история создания физико-химических основ ионной имплантации, предложена периодизация исследований в этой области науки и техники. Проанализированы основные пути ее дальнейшего развития. Намечены наиболее актуальные направления. Особое внимание уделяется вопросу взаимодействия научных исследований с актуальными областями приложений ионной имплантации. |
 |