Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

Главная страница

russian

english

16+

Название журнала	ВЕСТНИК Нижегородского университета им.Н.И.Лобачевского Серия Физика твердого тела
Название выпуска	ПО МАТЕРИАЛАМ V ВСЕРОССИЙСКОГО СЕМИНАРА "ФИЗИЧЕСКИЕ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ" НИЖНИЙ НОВГОРОД, 11-13 ОКТЯБРЯ 2000 Г.

Издатель	Издательство ННГУ
Место издания	Нижний Новгород
Адрес издателя	603950. Н. Новгород, пр. Гагарина, 23.

Номер выпуска	2
Дата выпуска	2001

Название статьи	Страницы	Фаил

40 ЛЕТ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ: ВЗГЛЯД В ИСТОРИЮ И ПЕРСПЕКТИВЫ Тетельбаум Д.И.	5-11
ВЛИЯНИЕ ВНЕДРЕННОГО АЗОТА НА ФОРМИРОВАНИЕ ЦЕНТРОВ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ПРИ ОТЖИГЕ СЛОЕВ SIO2, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ SI+ Качурин Г.А. Яновская С.Г. Журавлев К.С. Ruault М.-O.	12-17
ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЮ СИСТЕМЫ SIO2:SI Трушин С.А. Горшков О.Н. Бурдов В.А. Михайлов А.Н. Тетельбаум Д.И. Ревин Д.Г. Гапонова Д.М.	18-28
СТИМУЛИРОВАННАЯ ТОЧЕЧНЫМИ ДЕФЕКТАМИ РЕЛАКСАЦИЯ УПРУГИХ НАПРЯЖЕНИЙ В SIGE/SI ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ Вяткин А.Ф. Аврутин В.С. Егоров В.К. Зиненко В.И. Изюмская Н.Ф. Старков В.В. Смирнова И.А. Hemment P.L.F. Nejim A.	29-36
ВЛИЯНИЕ ДОЗЫ И ТРАВЛЕНИЯ НА ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА SI, ОБЛУЧЕННОГО ТЯЖЕЛЫМИ ИОНАМИ Трушин С.А. Михайлов А.Н. Ежевский А.А. Лебедев М.Ю. Акис С.Е. Мухаматуллин А.Х. Ревин Д.Г. Гапонова Д.М.	37-40
ПРИМЕНЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТИВНЫХ МАСОК ДЛЯ МАСКИРОВАНИЯ ИОННОГО ПУЧКА В ТЕХНОЛОГИИ КМОП-ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Гранько С.В. Волк С.А. Леонтьев А.В. Комаров Ф.Ф. Камышан А.С.	41-47
ВКЛАД ДОПОЛНИТЕЛЬНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В СТИМУЛИРОВАНИЕ РЕАКЦИИ ИОННОГО СИНТЕЗА ФАЗЫ SI3N4 В СЛОЯХ КРЕМНИЯ, ОБОГАЩЕННЫХ АЗОТОМ Демидов Е.С. Карзанов В.В. Марков К.А. Питиримова Е.А. Сдобняков В.В.	48-55
ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ?-FESI2 НА SI ОБЛУЧЕНИЕМ МОЩНЫМИ ИМПУЛЬСНЫМИ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ Баталов Р.И. Баязитов Р.М. Хайбуллин И.Б.	56-63
ИССЛЕДОВАНИЕ В ПОЛЕВОМ ИОННОМ МИКРОСКОПЕ СТРУКТУРЫ И ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ В МЕТАЛЛАХ И СПЛАВАХ ПОСЛЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ Сюткин Н.Н.	64-70
МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ГРАФИТА ПРИ ВЫСОКОДОЗНОМ РАСПЫЛЕНИИ ИОНАМИ АЗОТА ЭНЕРГИИ 15 - 30 КЭВ Борисов А.М. Железнов В.В. Куликаускас В.С. Машкова Е.С. Сафронов А.В. Сидоров А.В. Экштайн В.	71-80
СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИИ МИКРОКРИСТАЛЛОВ ЩЕЛОЧНО-ГАЛОИДНЫХ СОЕДИНЕНИЙ С ИОНИЗИРОВАННЫМ ВОЗДУХОМ Губарева Т.В. Шудриков Е.С. Пугачев В.М.	81-85
ВЛИЯНИЕ РЕШЕТОЧНОГО РАССЕЯНИЯ НА ДИФРАКЦИЮ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В КРИСТАЛЛЕ Подсвиров О.А. Карасёв П.А.	86-92
ИССЛЕДОВАНИЕ ИМПЛАНТАЦИОННОГО СВЕЛЛИНГА АНТИМОНИДА ИНДИЯ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ Туловчиков В.С. Филатов Д.О. Киселев А.Н.	93-102
ПРОБЛЕМА РОСТОВЫХ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ МИКРОДЕФЕКТОВ В ПРИБОРНЫХ СЛОЯХ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ", ФОРМИРУЕМЫХ ТЕРМОКОМПРЕССИОННЫМ СОЕДИНЕНИЕМ ПЛАСТИН Перевощиков В.А. Скупов В.Д.	103-109
РОЛЬ ПРОЦЕССОВ БЛИСТЕРОВАНИЯ В МЕХАНИЗМЕ ЭФФЕКТА ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ ПРИ ИОННОМ ВНЕДРЕНИИ АРГОНА В КРЕМНИЙ Демидов Е.С. Карзанов В.В. Круглов А.В. Курганова Н.В. Лобанов Д.А. Марков К.А.	110-119
О ПРИМЕНЕНИИ МЕТОДА МИКРОТВЕРДОСТИ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭФФЕКТА ДАЛЬНОДЕЙСТВИЯ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ Тетельбаум Д.И. Азов А.Ю.	120-130
СТРУКТУРНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ В КРЕМНИИ ПОСЛЕ ИОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ И ОБРАБОТКИ УЛЬТРАЗВУКОМ Золин Д.А. Киселев А.Н. Перевощиков В.А. Филатов Д.О. Скупов В.Д.	131-137