Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

СТИМУЛИРОВАННАЯ ТОЧЕЧНЫМИ ДЕФЕКТАМИ РЕЛАКСАЦИЯ УПРУГИХ НАПРЯЖЕНИЙ В SIGE/SI ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ


Номер журнала
2
Дата выпуска
2001

Тип статьи
 научная статья
Коды УДК
631.315.592
Страницы
29-36
Ключевые слова
 

Авторы
Вяткин А.Ф.
Аврутин В.С.
Егоров В.К.
Зиненко В.И.
Изюмская Н.Ф.
Старков В.В.
Смирнова И.А.
Hemment P.L.F.
Nejim A.

Место работы
Вяткин А.Ф.
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Аврутин В.С.
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Егоров В.К.
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Зиненко В.И.
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Изюмская Н.Ф.
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Старков В.В.
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Смирнова И.А.
Институт физики твердого тела РАН, Московская обл., п. Черноголовка

Hemment P.L.F.
University of Surrey, Guildford, UK

Nejim A.
University of Surrey, Guildford, UK


Загрузить статью

Библиографический список
1 . Matthews J. W. and Blakeslee A.E. // J. Cryst. Growth. 1974. 27. Р. 118.
2 . Schaffler F., Semicon // Sci. Technol., 1997. 12. Р. 1515.
3 . Lo Y.H. // Appl.Phys. Lett. 1991. 59. 2311.
4 . Teng D and Lo Y.H. // Appl. Phys. Lett. 1993. 62. Р. 41.
5 . Maroudas D., A. Zepeda-Ruiz L. and Weinberg W.H. // Appl. Phys. Lett. 1998. 73. Р. 753.
6 . Freund L.B., Nix W.D. // Appl. Phys. Lett. 1996. 69. Р. 173.
7 . Chua C.L., Hsu W.Y., Lin C.H., Christenson G. et al // Appl. Phys. Lett. 1994. 64. Р. 3640.
8 . Powell A.R., S. Iyer S. and Le Goues F.K. // Appl. Phys. Lett. 1994. 64. Р. 1857.
9 . Yang Z., Guarin F., Tau I.W., Wang W.I. et al. // Vac. Sci. Technol. 1995. B 13. Р. 789.
10 . Cao J., Pavlides D., Aisenbach A., Phillippe A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1997. 71. Р. 3880. 1
© ННГУ 2025