Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

ВКЛАД ДОПОЛНИТЕЛЬНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ В СТИМУЛИРОВАНИЕ РЕАКЦИИ ИОННОГО СИНТЕЗА ФАЗЫ SI3N4 В СЛОЯХ КРЕМНИЯ, ОБОГАЩЕННЫХ АЗОТОМ

Номер журнала	2
Дата выпуска	2001

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	539.1.04
Страницы	48-55	Ключевые слова

Авторы

Демидов Е.С.Карзанов В.В.Марков К.А.Питиримова Е.А.Сдобняков В.В.

Место работы

Демидов Е.С. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Карзанов В.В. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Марков К.А. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Питиримова Е.А. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Сдобняков В.В. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского

Аннотация

Методами просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии и регистрации вольтамперных характеристик исследовалось влияние ионно-лучевой обработки аргоном тыльной стороны пластины кремния на состояние слоя SixNy, синтезированного на лицевой стороне. Результат такого воздействия сравнивается с результатами постимплантационных отжигов, а также с результатом ионно-лучевой обработки тыльной стороны пластины неоном и кремнием, проводимой в тех же условиях, что и при бомбардировке аргоном. Показано, что имплантация аргона при ΦAr ~ 1017 см-2 и Т = 5000С является эффективным способом воздействия на синтезированный слой SixNy и может служить альтернативой постимплантационным отжигам.

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Павлов П.В., Марков К.А., Карзанов В.В., Демидов Е.С. // Высокочистые вещества. 1995. Вып. 2. С. 56.
2 . Карзанов В.В., Марков К.А., Мастеров Д.В. // Неорг. матер. 1998. Т. 34, в. 9. С. 1138.
3 . Демидов Е.С., Карзанов В.В., Марков К.А., Курицын Д.И. // Вестник Нижегородского университета. Сер. Физика тв. тела. 1998. Вып. 2. С. 105.
4 . Демидов Е.С., Карзанов В.В., Марков К.А. // ФТП. 2000. Т. 34, в. 2. С. 170.
5 . Демидов Е.С., Карзанов В.В., Марков К.А., Лобанов Д.А. и др. // Вестник Нижегородского университета. Сер. Физика тв. тела. 2000. Вып. 1(3). С. 271-280.
6 . Демидов Е.С., Карзанов В.В., Марков К.А., Лобанов Д.А. и др. // ФТП. 2001. Т. 35, в. 1. С. 21.
7 . Карзанов В.В. и др. Матер. Всерос. совещ. "Зондовая микроскопия-99", Н.Новгород, 10-13 марта 1999 г. Н. Новгород: Изд. ИФМ РАН, 1999. С. 185.
8 . Демидов Е.С., Карзанов В.В., Марков К.А., Лобанов Д.А. // Матер. Всерос. совещ. "Зондовая микроскопия-2000", Н. Новгород, 28 февраля-2 марта 2000 г. Н.Новгород: Изд. ИФМ РАН, 2000. С. 166.
9 . Demidov E.S., Karzanov V.V., Markov K.A., Lobanov D.A. // 7th Rus.-Jap. Inter. Symp. "On Interaction of fast charged particles with solids" (program and abstracts), N. Novgorod, October 9-16, 2000. P. 27
10 . Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. М.: Энергия, 1975. 97 с. 1
11 . Данилин А.Б. // Зарубежная электронная техника. 1986. N 4. С. 62. 1
12 . Данилин А.Б. // Электронная промышленность. 1990. N 4. С. 55. 1
13 . Pavlov P.V., Kruze T.A., Tetelbaum D.I. // Phys. stat. sol.(a). 1976. V 36, n. 1. P. 81. 1