Главная страница
russian   english
16+
<< назад

Название статьи

МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ГРАФИТА ПРИ ВЫСОКОДОЗНОМ РАСПЫЛЕНИИ ИОНАМИ АЗОТА ЭНЕРГИИ 15 - 30 КЭВ


Номер журнала
2
Дата выпуска
2001

Тип статьи
 научная статья
Коды УДК
537.534
Страницы
71-80
Ключевые слова
 

Авторы
Борисов А.М.
Железнов В.В.
Куликаускас В.С.
Машкова Е.С.
Сафронов А.В.
Сидоров А.В.
Экштайн В.

Место работы
Борисов А.М.
Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва

Железнов В.В.
Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва

Куликаускас В.С.
Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва

Машкова Е.С.
Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва

Сафронов А.В.
Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва

Сидоров А.В.
Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва

Экштайн В.
Институт физики плазмы им. М. Планка, Гархинг, Германия


Аннотация
Приведены результаты исследования модификации поверхностного слоя пористых графитов при высокодозном (1018-1019 ион/см2) распылении ионами N2+ с энергией 30 кэВ. Динамически равновесное состояние поверхности графита характеризуется стабилизацией коэффициентов распыления и ионно-электронной эмиссии, стационарным распределением концентрации азота по глубине, развитой топографией поверхности. Зависимость коэффициента распыления Y от угла падения ? близка к зависимости вида 1/cos?, что существенно слабее при наклонных углах падения зависимости Y(?) согласно моделированию по программе TRIM SP для гладкой поверхности. Основная доля имплантированного азота наблюдается в поверхностном слое толщиной, определяемой пробегом ионов в графите. При нормальном падении ионов концентрация азота в слое около 20 ат.%, при скользящем падении ? = 700 концентрация уменьшается в три раза.

Загрузить статью

Библиографический список
1 . Ионная имплантация / Под ред. Дж.К. Хирвонена Пер. с англ. М.: Металлургия, 1985. 392с.
2 . Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М.: Металлургия, 1990. 216 с.
3 . Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат. 1991. 240с.
4 . Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы. М.: Вузовская книга. 1998. 392с.
5 . Корсункий Б.Л., Пепекин В.И. // Успехи химии. 1997. Т.66. С.1003.
© ННГУ 2025