Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

ПРОБЛЕМА РОСТОВЫХ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ МИКРОДЕФЕКТОВ В ПРИБОРНЫХ СЛОЯХ СТРУКТУР "КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ", ФОРМИРУЕМЫХ ТЕРМОКОМПРЕССИОННЫМ СОЕДИНЕНИЕМ ПЛАСТИН

Номер журнала	2
Дата выпуска	2001

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	621.382
Страницы	103-109	Ключевые слова

Авторы

Перевощиков В.А.Скупов В.Д.

Место работы

Перевощиков В.А. Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Скупов В.Д. НИИ измерительных систем им. Ю.Е. Седакова, Нижний Новгород

Аннотация

Рассматривается роль ростовых и технологических микродефектов - скоплений собственных точечных дефектов (СТД) и примесей, а также дислокационных петель (ДП) в процессах образования остаточной дефектности приборных слоев структур "кремний на изоляторе" (СКНИ), создаваемых методом термокомпрессионного сращивания пластин.

Загрузить статью