СТРУКТУРНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ В КРЕМНИИ ПОСЛЕ ИОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ И ОБРАБОТКИ УЛЬТРАЗВУКОМ |
| 2 | |
| 2001 |
| научная статья | 534.8.539.3 | ||
| 131-137 |
| Методами селективного химического травления и атомно-силовой микроскопии исследовано влияние облучения ионами аргона и последующей жидкостной ультразвуковой обработки (УЗО) на микродефектную структуру и микроморфологию поверхности бездислокационных кристаллов кремния. Установлено, что сочетание таких воздействий снижает концентрацию микродефектов и неоднородность их распределения по объему кристалла, а при определенных режимах обработки и улучшает качество его поверхности. |
 |
| 1 . Северденко В.П., Клубович В.В. Применение ультразвука в промышленности. Минск: Наука и техника, 1967. 264 с. 2 . Агранат Б.А., Башкиров В.И., Китайгородский Ю.И. Ультразвуковая очистка // В кн.: Физика и техника мощного ультразвука. Т. 3: Физические основы ультразвуковой технологии. М.: Наука, 1970. Т. 3. С. 165-252. 3 . Кулемин А.В. Ультразвук и диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978. 200 с. 4 . Алехин В.П. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. М.: Наука, 1983. 280 с. 5 . Тяпунина Н.А., Наими Е.К., Зененкова Г.М. Действие ультразвука на кристаллы с дефектами. М.: Изд. МГУ, 1999. 238 с. 6 . Перевощиков В.А., Скупов В.Д. Особенности образивной и химической обработки поверхности полупроводников. Н. Новгород: Изд-во Нижегородского университета, 1992. 198 с. 7 . Кормишина Ж.А., Скупов В.Д., Смолин В.К. // В сб. Новые промышленные технологии, 1999. Вып. 1-2. С. 9-12. 8 . Перевощиков В.А., Скупов В.Д. // Заводская лаборатория. 1999. Т. 65. № 7. С. 24. 9 . Перевощиков В.А., Скупов В.Д. Изменение микродефектной структуры и свойств кристаллов кремния и композиций кремний-диоксид кремния при жидкостной обработке ультразвуком // Деп. в ВИНИТИ 31.05.00 г., № 1595-В00. 10 . Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. // ФТП. 1986. Т. 20. Вып. 3. С. 503. 1 |