Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

ИССЛЕДОВАНИЕ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ МАЛОРАЗМЕРНЫХ ИОННО-ЛЕГИРОВАННЫХ ФОТОДИОДНЫХ СТРУКТУР НА КРИСТАЛЛАХ INSB МЕТОДОМ НАВЕДЁННОГО ТОКА

Номер журнала	6
Дата выпуска	2009

Тип статьи	научная статья	Коды УДК	621.383.4:546
Страницы	56-61	Ключевые слова	антимонид индия, имплантация, наведенный ток, анодное окисление, постимплантационный отжиг

Авторы

Астахов В.П.Зиновьев В.Г.Карпов В.В.Максимов А.Д.Якимов Е.Б.

Место работы

Астахов В.П. ОАО «Московский завод «Сапфир»
Зиновьев В.Г. Московская госакадемия тонкой химической технологии (ТУ) им. М.В. Ломоносова
Карпов В.В. ОАО «Московский завод «Сапфир»
Максимов А.Д. Московская госакадемия тонкой химической технологии (ТУ) им. М.В. Ломоносова
Якимов Е.Б. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН

Аннотация

Исследованы многоэлементные планарные фотодиодные структуры на кристаллах InSb, полученные с применением имплантации ионов Ве

Загрузить статью

Библиографический список

1 . Астахов В.П., Гиндин Д.А., Карпов В.В.// Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. № 6. С.72.
2 . Астахов В.П., Борисов С.Р., Варганов С.В. и др. Патент SU 1589963 A1 от 17.01.1995.
3 . Астахов В.П., Дудкин В.Ф., Кернер Б.С. и др. // Микроэлектроника. 1989. Т. 18. Вып. 5. С. 455.
4 . Якимов Е.Б. // Зав. лаб. 2002. Т. 68. С. 63.
5 . Wu C.J., Wittry D.B. // J. Appl. Phys. 1978. V. 49. P. 2827.
6 . Kuiken H.K., van Opdorp C. // J. Appl. Phys. 1985. V. 57. P. 2077.
7 . Donolato C. // Appl. Phys. Lett. 1985. V. 46. P. 270.
8 . Bielajew A.F. Fundamentals of the Monte Carlo method for neutral and charged particle transport. Ann Arbor: The University of Michigan, 2001. P. 348.
9 . Reimer L. Monte Carlo simulation MOCASIM. Software manual. Alte Schanze 22, D-48159 M?nster, Germany.
10 . Астахов В.П., Гиндин Д.А., Карпенко Е.Ф. и др. // Прикладная физика. 2000. № 3. С. 115.