Должность | зав. лаб. Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН; д. ф.-м.н.; проф. |
Адрес | 142432, Московская обл., г. Черноголовка, ул. Институтская, 6 |
Сл. телефон | (252) 44-18-2 |
yakimov@ipmt-hpm.ac.ru |
<< назад